半导体

半导体制造介质纯度要求达 ppb 级，仪表选型以"不引入污染"为首要原则。超纯水电阻率 18.2 MΩ·cm，需采用超声波或科氏质量流量计，接液部件为高纯 PFA/PTFE。

特种气体测量须满足本安或隔爆要求，内表面粗糙度 Ra ≤ 0.25 μm。湿法化学品的电磁流量计需注意 PVDF/PFA 衬里的温度上限低于常规衬里。